现有金刚砂生产方式主要是采用碾压或球磨机破碎,得到的粒度参差不齐,粒度分散较大。经检测,W14规格金刚砂,粒度分布为:7-l0um≤8。4%,10-14um≥76。6%,14-20um≤15%,平均粒径13。5um,最大粒径20um,而大粒径的砂粒在研磨过程中,使研磨盘在压合运转过程中最先接触硅片表面,这样极易将硅片表面某点划伤或损坏,形成坑洞性白点,造成良品率下降。
发布时间:2016-09-11 点击率:407
为了解决上文所述问题,提高硅片良品率,采用的金刚砂分选方法步骤为:
(a)混合:将金刚砂和水混合成原液流;
(b)分选:筛分原液流,过滤大粒径金刚砂,分选得到分选液流;
(c)分流:将分选液流进行搅拌后沉淀,得到分流液流;
(d)分装:将沉淀后的分流液流进行分层分装。